產(chǎn)品簡介

SXRD-HR100是一款高分辨、多功能、 自動化為一體的X射線衍射儀，其測試范圍覆蓋了粉末、薄膜、納米材料等各類材料，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、能源、半導(dǎo)體、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特色

• 標配密封陶瓷X射線光管，功率大，亮度高，可持續(xù)工作，長期可靠性好

• 高運動精度測角儀，配合高精密光學(xué)元件，可提供高準直、高單色的X射線光束

• 二維光子計數(shù)探測器，具有很高的空間分辨率，可以大幅度提高測試效率

• 具有良好的兼容性和擴展性，支持模組快捷切換，以滿足不同應(yīng)用場景的需求

• 智能光路系統(tǒng)：光路自動切換、模組自動識別

測試數(shù)據(jù)

SXRD-HR100測試數(shù)據(jù)：半高寬(FWHM)

測試條件

• B/B幾何光路
  

• 光管功率：40KV，40mA

• 索拉狹縫：3°

• 入射狹縫：0.6°

• 步進模式：step=0.003°(單晶硅)

• 連續(xù)模式：step=0.02°(多晶硅)

高精度X射線衍射儀SXRD-HR100技術(shù)特點

大功率光管（兩種靶材可選）

Cu靶：標配光源，波長=1.54?，適用于絕大部分X射線衍射實驗和應(yīng)用場景

Mo靶：波長=0.71?，主要針對輕元素（如 Li、B）材料和超高分辨（如半導(dǎo)體應(yīng)變層）的衍射實驗

模塊化與自動化設(shè)計

• 系統(tǒng)具有模組自動識別功能，可隨時了解系統(tǒng)配置狀態(tài)

• 光路自動調(diào)整，可有效降低實驗難度，提高實驗效率

• 不同光路之間可自動切換，大大提高實驗的自動化程度

超高分辨率

• 高精度測角儀，配合光學(xué)編碼器的全閉環(huán)控制，可實現(xiàn)的定位精度為 ±0.0001°

• X射線多層膜反射鏡（Goebel鏡），用于X射線光束修飾，可將光束準直性提高到0.03°以內(nèi)，并有效去除特征光譜中的Kβ部分

• Ge220雙晶單色器，用于X射線光束修飾，可進一步提高光束單色性，是超高分辨率衍射的必*光學(xué)元件

• 可選配二維單光子計數(shù)探測器，具有大面積（有效面積 77.1x 38.4毫米）、高空間分辨率（最小像素75x75 微米）和高計數(shù)率

客戶價值

提升科研效率 （自動化 + 高通量，縮短研發(fā)周期）

自動化操作：自動校準功能、模塊識別功能、一鍵式流程，可以有效降低實驗難度，提高實驗效率，非常適合需要快速迭代的研發(fā)場景

大面積光子計數(shù)探測器：可同時采集多角度數(shù)據(jù)，結(jié)合 AI 輔助分析，快速完成物相識別或應(yīng)力分布計算，加速實驗-反饋循環(huán)

節(jié)約運行成本（低維護設(shè)計 + 模塊化擴展 + 自動化設(shè)計，降低全生命周期成本）

低維護與高壽命：標配的陶瓷密封X射線管，使用壽命長，日常無需維護成本

模塊化設(shè)計與擴展性：用戶無需為不同需求購置多臺設(shè)備，通過升級附件，即可擴展新的功能，降低初期投資和后續(xù)升級成本

節(jié)約人力成本：自動化操作減少對專業(yè)操作員的依賴，新手經(jīng)過短期培訓(xùn)即可獨立完成復(fù)雜測試，有效降低人力資源投入

提升數(shù)據(jù)的質(zhì)量與可靠性（高靈敏度 + 穩(wěn)定性，確保數(shù)據(jù)可靠性，支持高精度工藝控制）

高精度與低噪聲：高精密光學(xué)元件，對X射線光束進行準直和單色，配合多能量閾值可選的光子計數(shù)探測器，可以有效降低噪聲信號，提高實驗的分辨率，確保弱信號樣品的精準檢測，提高實驗數(shù)據(jù)的可靠性

穩(wěn)定性與重復(fù)性：高精度機械加工，配合光學(xué)編碼器形成的全閉環(huán)控制，保證了測角儀的運動精度、穩(wěn)定性、長期可靠性，可以滿足工業(yè)質(zhì)量控制（如半導(dǎo)體晶圓檢測）對可重復(fù)性的嚴苛要求

靈活性（模塊化設(shè)計，兼容性強，擴展性強，滿足跨領(lǐng)域需求，適應(yīng)技術(shù)趨勢迭代）

易用性（智能化操作降低技術(shù)門檻，遠程協(xié)作提升資源利用率）