三自由度并聯(lián)運動臺：超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu) ·內(nèi)置高精度光學位置傳感器靈活的可定制方案

產(chǎn)品型號：Free3D.ZTxTy.070

更新時間：2026-03-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類Product Categories

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三自由度并聯(lián)運動臺 — Free3D.ZTxTy.070
產(chǎn)品特色

· 超安靜運動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)

· 內(nèi)置高精度光學位置傳感器

· 靈活高的可定制方案

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1	可選版本	.HV,高真空版本； .UHV,超高真空版本； .NM,*全無磁版本；
2	外形尺寸	?70×82 mm
3	主體材料	標準版， .HV,.UHV鋁合金，鋼：800 g;,NM純鈦，陶瓷：460 g
4	*大垂直負載	5 kg
5	中空孔徑	?10 mm
6	運動行程Z,θX,θY*	±2.5 mm,±9°,±10°
7	單向重復精度Z,θX,θY	±0.2 μm,±8μrad,±8μrad
8	最小步伐Z,θX,θY	10 nm,1 μrad,1μrad
9	傳感器類型	光學位置傳感器
10	位置傳感器分辨率	2 nm
11	線纜&接頭	默認：屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包線， D-Sub15(PEEK)
12	控制器規(guī)格	MC-Free3D

三自由度并聯(lián)運動臺 — Free3D.ZTxTy.100

產(chǎn)品特色