長行程線性位移臺：超安靜運(yùn)動 ·納米級分辨率斷電位置自保持內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 ·多種行程規(guī)格

產(chǎn)品型號：Indus系列

更新時間：2026-03-04

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：129

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產(chǎn)品分類Product Categories

光機(jī)產(chǎn)品

常溫壓電位移臺籠式系統(tǒng) 接桿及桿架運(yùn)動控制/自動化手動位移臺電動升降臺相機(jī) 光學(xué)平板光學(xué)平臺阻尼隔振平臺電動平移臺手動升降臺電動角位移臺手動角位移臺光學(xué)調(diào)整架激光功率能量計功率能量計各種光學(xué)元器件控制器
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產(chǎn)品概述

“Indus系列" 線性位移臺 — L050.Indus ~ L150.Indus

產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 多種行程規(guī)格

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
產(chǎn)品圖片

產(chǎn)品參數(shù)

序號	產(chǎn)品參數(shù)	L050.Indus	L100.Indus	L150.Indus
1	可選版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本	.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完*無磁版本
2	外形尺寸	90 × 24 × 14 mm	180 × 24 × 14 mm	250 × 36 × 16.5 mm
3	主體材料	標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷	標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷	標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV：.NM：純鈦，陶瓷
4	質(zhì)量（標(biāo)準(zhǔn)版）	174 g	388 g	840 g
5	運(yùn)動行程	50 mm	100 mm	150 mm
6	安裝空間	140 × 24 × 14 mm	280 × 24 × 14 mm	400 × 36 × 16.5 mm
7	速度范圍	默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s	默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s	默認(rèn)：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s
8	驅(qū)動力	2 N	2 N	2 N
9	保持力	3 N	3 N	3 N
10	水平方向使用*大負(fù)載	1 kg	2 kg	3 kg
11	雙向重復(fù)定位精度	± 150 nm	± 150 nm	± 150 nm
12	全行程俯仰 / 偏擺	0.2 mrad	0.2 mrad	0.2 mrad
13	最小步伐（閉環(huán)）	5 nm	5 nm	5 nm
14	位置傳感器類型	光學(xué)位置傳感器	光學(xué)位置傳感器	光學(xué)位置傳感器
15	位置傳感器分辨率	2 nm	2 nm	2 nm
16	線纜 & 接頭	默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)	默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)	默認(rèn)：屏蔽線纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線，D–Sub15 (PEEK)
17	控制器規(guī)格	MC–Newton.S 系列	MC–Newton.S 系列	MC–Newton.S 系列

“Indus系列"線性位移臺 — LS200.Indus