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產(chǎn)品中心

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真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
產(chǎn)品簡介

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列，可以在真空環(huán)境下使用的主動隔振平臺、能更好適配真空實驗場景。

產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-07-02
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：1479
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真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

特點

  • 空氣彈簧支撐，磁負剛度機構(gòu)

  • 機械式倒立擺負剛度機構(gòu)并聯(lián)正剛度機構(gòu)

  • 適用1E-4Pa的真空環(huán)境

  • 6自由度主動隔振

  • 主動隔振帶寬低至0.5Hz起

  • 標品負載最大支持7000KG

  • 水平向電機峰值推力高達160N

  • 總體規(guī)格（長、寬、高）多種規(guī)格可選

  • 核心控制系統(tǒng)全部自研

  • 核心部件國產(chǎn)化

技術(shù)指標

  • 主動隔振帶寬：0.5-150Hz

  • 臺面穩(wěn)定性：≤±5um

  • 傳遞率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz

  • 水平向電機峰值推力高達270N

  • 系統(tǒng)支持最大功率400W

  • 臺面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

                      NTBK：0.1mm/600mm×600mm

                      大理石臺面：0級、1級、2級、3級可選（GB/T20428-2006）

  • 臺面厚度：100/200/300mm

  • 孔徑：可定制孔徑

  • 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

  • 標品單腿最大承載能力：1800Kg

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列命名規(guī)則

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

選型表：（M、K、P參考具體臺面信息）

產(chǎn)品型號

整體規(guī)格（L*W：mm）

臺面上負載要求（kg）

臺面厚度（mm）

隔振器規(guī)格

(L*W*H:mm)

單腿重量

ZVI-VB-30-15M

3000×1500

100-2000

400

1060×900×202

40kg

尺寸圖：

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

型號

尺寸（ mm）

L

W

T

H1

H2

ZVI-VB-30-15M

3000

1500

400

900

500

相關(guān)案例：

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

  • 光刻機：確保光刻膠的精確涂布和曝光。

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

  • 刻蝕設(shè)備：在納米精度上進行精確加工，確保芯片電路的完整性。

真空主動隔振平臺ZVI-VB系列

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