光學(xué)平臺(tái)：i4系列桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)，用于搭配掃描電子顯微鏡，六自由度主動(dòng)隔振。

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更新時(shí)間：2025-04-02

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光學(xué)平臺(tái)：i4系列桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)

產(chǎn)品概述

歐庫(kù)睿因主動(dòng)式隔振技術(shù)，高精度設(shè)備的*美展現(xiàn)！

自從高分辨率測(cè)量和制造技術(shù)達(dá)到納米尺度以來(lái)，振動(dòng)就一直是一個(gè)重要問(wèn)題。有效消除振動(dòng)干擾是獲得精確和可重復(fù)測(cè)量結(jié)果的關(guān)鍵。解決方法是將儀器與振動(dòng)源隔離開(kāi)來(lái)。典型的振動(dòng)來(lái)源可能是：

· 建筑物和地面的振動(dòng)(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz)

· 聲學(xué)振動(dòng)(>20 Hz)

· 機(jī)動(dòng)設(shè)備和機(jī)器(10-500 Hz)

主動(dòng)隔振的基本原理是通過(guò)產(chǎn)生反作用力對(duì)干擾振動(dòng)進(jìn)行主動(dòng)補(bǔ)償。

光學(xué)平臺(tái)：i4系列桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)

精選范例

光學(xué)平臺(tái)：i4系列桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)

歐庫(kù)睿因主動(dòng)隔振系統(tǒng)的工作原理

光學(xué)平臺(tái)：i4系列桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)

應(yīng)用設(shè)備和承載臺(tái)面由彈簧支撐。其目的是實(shí)現(xiàn)主動(dòng)隔振所需的浮動(dòng)狀態(tài)。承載臺(tái)面可以向各個(gè)方向移動(dòng)。在工作狀態(tài)中，桌面上的應(yīng)用設(shè)備與環(huán)境振動(dòng)隔離。

振動(dòng)由極其靈敏的壓電式加速度計(jì)檢測(cè)。傳感器輸出信號(hào)由控制電路進(jìn)行分析和處理，控制電路驅(qū)動(dòng)電動(dòng)執(zhí)行器，電動(dòng)執(zhí)行器實(shí)時(shí)產(chǎn)生對(duì)抗振動(dòng)的反作用力。主動(dòng)隔振在6個(gè)自由度內(nèi)有效。

光學(xué)平臺(tái)：i4系列桌面式主動(dòng)隔振系統(tǒng)