晶圓缺陷參數(shù)檢測 : 非接觸測試解決方案，基于我司自主研發(fā)的激光自動聚焦、自動化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發(fā)光和拉曼光譜等核心測試技術，聯(lián)合白光干涉等其它 3D 測量技術，定制化的半導體參數(shù)測試解決方案。獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數(shù)，到位錯、層錯等缺陷，再到發(fā)光波長、壽命、載流子濃度、組分和應力等物理參數(shù)的綜合測試系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-07-11

廠商性質：生產(chǎn)廠家

訪問量：2533

產(chǎn)品咨詢 13810146393

產(chǎn)品分類Product Categories

相關文章Related Articles

飛秒瞬態(tài)吸收光譜系統(tǒng)的核心系統(tǒng)構成

2026-01-21
拉曼光譜分析儀是什么？工作原理、分類與應用場景一文全懂

2026-05-15
無人機高光譜技術的應用

2018-06-27
Finder Vista”顯微共聚焦拉曼光譜儀鑒定真假紅珊瑚

2016-11-10
電移臺介紹

2024-03-06

詳細介紹在線留言

全晶圓半導體參數(shù)非接觸測試解決方案

Full-wafer Noncontac Measuring Solutions forSemiconductor Parameters

基于我公司自主研發(fā)的激光自動聚焦、自動化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發(fā)光光譜和共焦拉曼光譜等核心測試技術和模組，聯(lián)合白光干涉等其它 3D 測量技術，根據(jù)客戶的需求靈活組合相應的技術搭配，為客戶開發(fā)定制化的半導體參數(shù)測試解決方案，獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數(shù)，到位錯、層錯等缺陷，再到發(fā)光波長、壽命、載流子濃度、組分和應力等物理參數(shù)的綜合測量，實現(xiàn)無需任何前處理的全晶圓無損自動化檢測。

晶圓缺陷參數(shù)檢測 : 非接觸測試解決方案